Pada umumnya limbah gas dari pabrik bersumber dari penggunaan bahan baku, proses, dan hasil serta sisa pembakaran. Pada saat pengolahan pendahuluan, limbah gas maupun partikel timbul karena perlakuan bahan-bahan sebelum diproses lanjut. Limbah yang terjadi disebabkan berbagai hal antara lain; karena reaksi kimia, kebocoran gas, hancuran bahan-bahan dan lain-lain.

Pada waktu proses pengolahan, gas juga timbul sebagai akibat reaksi kimia maupun fisika. Adakalanya limbah yang terjadi sulit dihindari sehingga harus dilepaskan ke udara. Namun dengan adanya kemajuan teknologi, setiap gas yang timbul pada rangkaian proses telah dapat diupayakan pengendaliannya.

Sebagian besar gas maupun partikel terjadi pada ruang pembakaran, sebagai sisa yang tidak dapat dihindarkan dan karenanya harus dilepaskan melalui cerobong asap. Banyak jenis gas dan partikel gas lepas dari pabrik melalui cerobong asap ataupun penangkap debu harus ditekan sekecil mungkin dalam upaya mencegah kerusakan lingkungan.

Jenis gas yang bersifat racun antara lain SO2, CO, NO., timah hitam, amoniak, asam sulfida dan hidrokarbon. Pencemaran yang terjadi dalam udara dapat merupakan reaksi antara dua atau lebih zat pencemar. Misalnya reaksi fotokimia, yaitu reaksi yang terjadi karena bantuan sinar ultra violet dari sinar matahari. Kemudian reaksi oksidasi gas dengan partikel logam dengan udara sebagai katalisator.

Konsentrasi bahan pencemar dalam udara dipengaruhi berbagai macam faktor antara lain: volume bahan pencemar, sifat bahan, kondisi iklim dan cuaca, topografi.

1. Oksida Nitrogen

Oksida nitrogen lazim dikenal dengan NO. bersumber dari instalasi pembakaran pabrik dan minyak bumi. Dalam udara, NO dioksidasi menjadi NO2 dan bila bereaksi dengan hidrokarbon yang terdapat dalam udara akan membentuk asap. NO2 akan berpengaruh terhadap tanam-tanaman dan sekaligus menghambat pertumbuhan.

Pabrik yang menghasilkan NO di antaranya adalah pabrik pulp dan rayon, almunium, turbin gas, nitrat, bahan peledak, semen, galas, batubara, timah hitam, song dan peleburan magnesium.

2. Fluorida

Fluorida adalah racun bersifat kumulatif dan dapat berkembang d atmosfer karena amat reaktif. Dalam bentuk fluorine, zat ini tidak dihisap tanah tapi langsung masuk ke dalam daun-daun menyebabkan daun berwarna kuning kecoklatan.

Binatang yang memakan dedaunan tersebut bisa menderita penyakit gigi rontok. Pabrik yang menjadi sumber fluor antara lain pabrik pengecoran aluminium pabrik pupuk, pembakaran batubara, pengecoran baja dan lainnya

3. Sulfur dioksida

Gas SO2 dapat merusak tanaman, sehingga daunnya menjadi kuning kecoklatan atau merah kecoklatan dan berbintik-bintik. Gas ini juga menyebabkan hujan asam, korosi pada permukaan logam dan merusak bahan nilon dan lain-lain.

Gas SO2 menyebabkan terjadinya kabut dan mengganggu reaksi foto sintesa pada permukaan daun. Dengan air, gas SO2 membentuk asam sulfat dan dalam udara tidak stabil. Sumber gas SO2 adalah pabrik belerang, pengecoran biji logam, pabrik asam sulfat, pabrik semen, peleburan tembaga, timah hitam dan lain-lain. Dalam konsentrasi melebihi nilai ambang batas dapat mematikan.

4. Ozon

Ozon dengan rumus molekul O3 disebut oksidan merupakan reaksi foto kimiawi antara NO2 dengan hidrokarbon karena pengaruh ultra violet sinar matahari. Sifat ozon merusak daun tumbuh-tumbuhan, tekstil dan melunturkan warna. Reaksi pembentukan ozon sebagai berikut:

ultra violet:
NO2 ----> NO + On
O2 + On ---> O3
NO + On ---> NO2

Peroksil asetel nitrat merupakan reaksi NO2 dalam fotosintesa merusakkan tanaman.

5. Amonia

Gas amonia dihasilkan pabrik pencelupan, eksplorasi minyak dan pupuk. Gas ini berbahaya bagi pemanfaatan dan baunya sangat merangsang. Pada konsentrasi 25% mudah meledak.

6. Partikel

Partikel merupakan zat dispersi terdapat dalam atmosfer, berbagai larutan, mempunyai sifat fisik dan kimia.

Partikel dalam udara terdiri dari:

• Asap, merupakan hasil dari suatu pembakaran.
• Debu, partikel kecil dengan diameter 1 mikron.
• Kabut, partikel cairan dengan garis tengah tertentu.
• Aerosol, merupakan inti dari kondensasi uap.
• Fume, merupakan hasil penguapan.

Berikut adalah beberapa jenis industri dan limbah yang dihasilkannya:

• Industri pupuk : Uap asam, NH3, bau, partikel.
• Pabrik pangan (ikan, daging, minyak makan, bagase, bir) : Hidrokarbon, bau,  partikel, CO, H2S dan uap asam.
• Industri pertambangan (mineral) semen, aspal, kapur, batu bara, karbida, serat gelas : NOx, SOx, CO, HK, bau, partikel.
• Industri metalurgi (tembaga, baja - seng, timah hitam, aluminium) : NOx, SO, CO, HK, H2S, chlor, bau dan partikel.
• Industri kimia (sulfat, serat rayon PVC, amonia, cat dan lain- lain) : HK, CO, NH3, bau dan partikel.
• Industri pulp : SOx CO, NH3, H2S, bau.